1. 张江高科：通过子公司持有上海微电子装备（集团）股份有限公司9.0888%的股权，是光刻机整机领域的重要参与者。

2. 上海电气：母公司为上海微电子的第一大股东，涉及光刻机整机领域。

3. 东方明珠：通过间接持股上海微电子，参与光刻机整机领域。

4. 奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，涉及光刻机整机领域，子公司禹衡光学是国内光栅编码器龙头厂商，打破国外垄断。

5. 福晶科技：全球最大的LBO、BBO非线性光学晶体生产商，参与了目前国内DUV光刻机光源系统、照明系统以及物镜系统的研发制造。

6. 波长光电：已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套。

7. 茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机，几乎涵盖了GK中除光源之外的所有核心器件，拥有先进的研发平台和制造能力。

8. 腾景科技：多波段合分束器已进入上海微电子供应链，在光刻机光学系统中可满足国产替代进口的需求。

9. 苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品，国内领先的微纳光学制造商，纳米压印技术国内领先。

10. 炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器，产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。